光阻劑

基本资料

料号
70870
SDS 编号
QLE-238
中文名称
光阻劑
英文名称
AZ P4620 Photoresist
成分与浓度
成分 CAS No 化学式 浓度占比
丙二醇甲醚醋酸酯 108-65-6 NA ≥50-<70
甲酚 1319-77-3 NA ≥0.1-<0.25
2 - 甲基丙醇乙酸酯 70657-70-4 NA ≥0.1-<0.3
禁配物

氧化劑; 碱

供应商

名称 联系电话 邮编 地址 传真号码 电子邮件
默克先進科技材料股份有限公司 02-2162-1111 台北市內湖區堤頂大道二段 89 號 6 樓 02-8751-6262

化学品

# 料号 使用部门 属性 危险化学品
尚无任何资料

#1: 化学品及企业标识

1.1 化学品基本信息

项目内容
产品名称AZ P4620 Photoresist（光刻胶）
推荐用途电子产业制程中使用
限制用途无额外说明（默认仅用于推荐工业场景）

1.2 企业及应急联系方式

项目内容
制造商 / 供应商名称默克电子材料 (苏州) 有限公司
地址中国江苏省苏州市苏州工业园区龙浦路 70 号，邮编：215021
电话+86(0)512-62836220
电子邮件地址SDS@merckgroup.com
应急咨询电话+86(0)532-83889090

#2: 危险性概述

2.1 紧急情况与 GHS 分类

项目内容
外观与性状液体；颜色：琥珀色到红色；气味：特征性气味
紧急情况概述1. 易燃液体和蒸气；2. 受热温度高于闪点或喷洒时可能形成易燃混合物；3. 可能造成昏昏欲睡或眩晕；4. 燃烧时释放二氧化碳、一氧化碳（可燃）；5. 不发生危险聚合反应
GHS 危险性类别1. 易燃液体 - 类别 3；2. 特异性靶器官系统毒性（一次接触）- 类别 3（麻醉效应）

2.2 标签要素与防范说明

要素类型具体内容
象形图（按 GHS 分类对应标识：火焰（易燃液体）、感叹号（健康危害））
信号词警告
危险性说明1. 易燃液体和蒸气；2. 可能造成昏昏欲睡或眩晕
预防措施1. 远离热源 / 火花 / 明火 / 热表面，禁止吸烟；2. 保持容器密闭；3. 容器和接收设备接地、连接；4. 使用防爆的电气 / 通风 / 照明 / 设备；5. 只能使用不产生火花的工具；6. 采取防止静电放电的措施；7. 避免吸入粉尘 / 烟气 / 气体 / 烟雾 / 蒸气 / 喷雾；8. 仅在室外或通风良好处使用；9. 戴防护手套 / 防护眼罩 / 防护面具
事故响应1. 皮肤（或头发）沾染：立即脱掉所有沾污衣物，用水清洗皮肤 / 淋浴；2. 误吸入：移至空气新鲜处，保持呼吸舒适姿势，不适时呼叫解毒中心或医生；3. 火灾时：使用水喷淋、抗溶泡沫、干粉或二氧化碳灭火
安全储存1. 存放在通风良好、低温处；2. 保持容器密闭；3. 存放处须加锁
废弃处置将本品及其容器交由经批准的废物处理厂处置

2.3 危害补充信息

危害类型内容
物理和化学危险易燃液体和蒸气；蒸气重于空气，可沿地面扩散，遇明火易燃烧
健康危害可能造成昏昏欲睡或眩晕；长期或高浓度接触可能引发麻醉效应
环境危害根据现有信息无需进行分类
GHS 未包括的其他危害未见报道

#3: 成分 / 组成信息

3.1 产品形态与危险组分

产品形态混合物 
化学品名称化学文摘登记号（CAS No.）浓度或浓度范围（%）
丙二醇甲醚醋酸酯108-65-6≥50-<70
甲酚1319-77-3≥0.1-<0.25
2 - 甲基丙醇乙酸酯70657-70-4≥0.1-<0.3

#4: 急救措施

4.1 不同接触途径的急救方法

接触途径急救措施
一般建议患者以复原体位躺下，盖被保暖
眼睛接触用大量水彻底冲洗至少 15 分钟，立即请教医生
皮肤接触1. 立即脱掉受污染的衣服和鞋子（清洗干燥后才可重新使用）；2. 用肥皂和水洗净皮肤；3. 皮肤刺激持续时就医
吸入无数据（参考 “事故响应”：移至空气新鲜处，保持呼吸舒适姿势，不适时就医）
食入1. 切勿给失去知觉者喂食任何东西；2. 禁止催吐；3. 立即就医

4.2 急救补充信息

项目内容
最重要的症状和健康影响无中毒症状叙述（参考 GHS 危害：可能出现昏昏欲睡、眩晕）
对保护施救者的忠告无数据（建议穿戴个人防护装备，避免接触或吸入）
对医生的特别提示对症治疗

#5: 消防措施

5.1 灭火剂选择与灭火方法

项目内容
适用灭火剂二氧化碳（CO₂）、水喷淋、干粉、抗溶泡沫
不适用灭火剂大量水喷射（可能使火势蔓延扩散）
灭火方法1. 避免吸入蒸气，在上风向操作，与火源保持距离；2. 断电并移走周围火源；3. 安全时移走火场附近物料；4. 不用强实水流，防止火势扩散；5. 按当地规定处理火灾残留物和污染消防用水

5.2 消防风险与防护

项目内容
特别危险性燃烧时释放二氧化碳、一氧化碳（可燃）；蒸气易形成爆炸性混合物
消防人员防护装备1. 佩戴自给式呼吸器；2. 穿戴密闭全身式消防服（含安全帽）

#6: 泄漏应急处理

6.1 人员防护与环境措施

项目内容
人员防护措施1. 穿戴个人防护装备（参考第 8 部分）；2. 未穿戴者远离泄漏区域；3. 位于上风方向，避免吸入蒸气
环境保护措施1. 不允许产品流入土壤或水源；2. 污染河流、湖泊或下水道时，立即告知有关当局

6.2 泄漏处理与次生灾害预防

项目内容
泄漏化学品的收容、清除方法1. 围堵溢出，盖住下水道；2. 用防电真空清洁器或湿刷子收集，装入贴有标签的容器；3. 用惰性材料（干砂、硅胶、酸性粘结剂等）吸收；4. 按当地法规处置（见第 13 部分）
防止次生灾害的预防措施1. 仅使用防爆设备；2. 无额外数据（需消除周围火源，防止静电）

#7: 安全處置與儲存方法

7.1 操作处置要求

项目内容
基本操作规范1. 采取防止静电放电的措施；2. 操作后彻底清洗；3. 远离热源和火源；4. 避光操作
防火防爆建议1. 蒸气可能与空气形成爆炸性混合物；2. 蒸气重于空气，沿地面扩散，遇明火燃烧
禁配物规避远离氧化剂、强碱、强酸，防止放热反应

7.2 储存要求

项目内容
安全储存条件1. 储存于原装容器，保持密闭；2. 置于干燥、通风良好、低温处；3. 按国家特定法规要求储存
禁配物隔离与氧化剂、强碱、强酸分开存放，严禁混储
储存注意事项定期检查容器密封性，避免长时间储存（防止形成爆炸性过氧化物）

#8: 暴露預防措施

8.1 职业接触限值（关键组分）

组分名称CAS No.控制参数依据
甲酚1319-77-31. 中国 OEL（PC-TWA）：10 mg/m³（皮）；2. ACGIH（TWA）：20 mg/m³OEL CN、ACGIH
丙二醇甲醚醋酸酯108-65-6无明确公开限值-
2 - 甲基丙醇乙酸酯70657-70-4无明确公开限值-

8.2 工程控制与个体防护装备

项目内容
工程控制1. 工作场所附近配备洗眼器和安全淋浴器；2. 提供局部排气或工艺通风（防爆型，满足暴露限值）
个体防护装备1. 呼吸系统防护：排气不足或长时间接触时，使用呼吸防护设备；2. 眼睛防护：可能接触时佩戴防护眼镜；3. 手防护：可能接触时佩戴耐溶剂防化手套；4. 皮肤和身体防护：可能接触时穿戴耐有机溶剂防护服
防护措施补充1. 避免吸入蒸气；2. 避免皮肤、眼睛接触；3. 遵循良好工业卫生和安全规范操作

#9: 理化特性

理化性质内容
外观与性状液体，琥珀色到红色，特征性气味
气味阈值无数据
pH 值物质 / 混合物是非极性的 / 非质子的（不适用）
熔点（℃）-66（溶剂层面数据）
沸点（℃）145.8（1,013 百帕，溶剂，OECD 测试导则 103）
闪点（℃）45.5（丙二醇甲醚醋酸酯，闭杯，ASTM D 3278）
蒸发速率无数据
易燃性（固体 / 气体）无数据
爆炸极限（V/V）1. 上限：7%（200℃，1013 百帕，溶剂）；2. 下限：1.5%（200℃，1013 百帕，溶剂）
蒸气压无数据
蒸气密度（空气 = 1）无数据
密度 / 相对密度（水 = 1）1.075（25/25℃）
溶解性水溶性：不溶
正辛醇 / 水分配系数（log Pow）1.2（20℃，溶剂，OECD 测试导则 117，预估无生物累积）
自燃温度（℃）无数据
分解温度（℃）无数据
动力黏度无数据
运动黏度（mm²/s）1.23（20℃，溶剂，ECHA）
爆炸特性非爆炸物
氧化性无

#10: 稳定性和反应性

稳定性标准环境条件（室温）下化学性质稳定；对光敏感
危险反应1. 可能形成爆炸性过氧化物（避免长时间储存、接触空气 / 光或高于室温）；2. 受热高于闪点或喷洒时可能形成易燃混合物；3. 不发生危险聚合反应
应避免的条件1. 接触强氧化剂、强酸、碱、强碱、金属、金属盐（可能引发水解）；2. 明火、热表面、点火源
禁配物氧化剂、碱
危险的分解产物无数据（燃烧时释放二氧化碳、一氧化碳）

#11: 毒理学信息

11.1 急性毒性（产品及关键组分）

测试对象毒性数据测试方法 / 备注
产品（整体）1. 经口急性毒性估计值：>5000 mg/kg（计算方法）；2. 经皮急性毒性估计值：>5000 mg/kg（计算方法）；3. 吸入急性毒性：无数据-
丙二醇甲醚醋酸酯1. 经口 LD₅₀：6190 mg/kg（大鼠，雌雄，OECD 401，GLP）；2. 经皮 LD₅₀：>2000 mg/kg（大鼠，雌雄，OECD 402，GLP）；3. 吸入 LC₀：>8.1 mg/l（4 小时，大鼠，粉尘 / 烟雾）ECHA 数据
甲酚1. 经口 LD₅₀：121 mg/kg（大鼠，雄性，OECD 401，非 GLP）；2. 经皮 LD₅₀：301 mg/kg（家兔）；3. 吸入：不能排除毒副作用ECHA 数据
2 - 甲基丙醇乙酸酯经口、经皮、吸入急性毒性：不能排除毒副作用ECHA 数据

11.2 其他毒理学效应

毒理学效应类型内容（产品 / 关键组分）
皮肤腐蚀 / 刺激1. 产品：无数据；2. 丙二醇甲醚醋酸酯：家兔无刺激（OECD 404，24 小时）；3. 甲酚：家兔引致灼伤
严重眼损伤 / 眼刺激1. 产品：无数据；2. 丙二醇甲醚醋酸酯：家兔无刺激（OECD 405）；3. 甲酚：家兔可造成严重损伤
呼吸或皮肤过敏1. 产品：无数据；2. 丙二醇甲醚醋酸酯：豚鼠不引起皮肤过敏（OECD 406）；3. 甲酚：无数据
致癌性产品中≥0.1% 组分：未被 NTP、IARC、OSHA 鉴别为已知 / 预估 / 潜在致癌物
生殖细胞致突变性1. 产品：无数据；2. 丙二醇甲醚醋酸酯：Ames 试验阴性（OECD 471）；3. 甲酚：体外染色体畸变试验阳性（OECD 473），体内微核试验阴性
生殖毒性1. 产品：无数据；2. 2 - 甲基丙醇乙酸酯：假设的人类生殖毒物；3. 其他组分：无数据
特异性靶器官系统毒性（一次接触）1. 产品：可能造成昏昏欲睡或眩晕；2. 2 - 甲基丙醇乙酸酯：吸入可能造成呼吸道刺激
特异性靶器官系统毒性（反复接触）产品及组分均无数据
吸入危害产品及组分均无数据
其他系统影响可能出现嗜睡、发绀、失去知觉、麻醉；长期接触可能损伤肾、肝（参考甲酚特性）

#12: 生态学信息

12.1 生态毒性（关键组分）

组分名称生态毒性数据（ECHA）
丙二醇甲醚醋酸酯1. 鱼（虹鳟）：LC₅₀=134 mg/l（96 小时，静态，OECD 203）；2. 水溞：EC₅₀=408 mg/l（48 小时，静态，OECD 202）；3. 绿藻：NOEC>1000 mg/l、ErC₅₀>1000 mg/l（96 小时，静态，OECD 201）；4. 细菌：EC₁₀>1000 mg/l、EC₂₀>1000 mg/l（30 分钟，OECD 209）；5. 慢性毒性：鱼（日本青鳉）NOEC=47.5 mg/l（14 天，流水，OECD 204）；水溞 NOEC≥100 mg/l（21 天，半静态，OECD 211）
甲酚1. 细菌：EC₅₀=11.4 mg/l（4 小时，静态）；2. 慢性毒性：鱼（肥头鲦鱼）NOEC=1.35 mg/l（32 天，流水，OECD 210）；水溞 NOEC=1 mg/l（21 天，半静态）
2 - 甲基丙醇乙酸酯无数据

12.2 其他生态学特性

项目内容（关键组分）
持久性和降解性1. 丙二醇甲醚醋酸酯：83%（28 天，快速生物降解）；2. 甲酚：90%（28 天，快速生物降解）；3. 2 - 甲基丙醇乙酸酯：无数据
生物蓄积性1. 丙二醇甲醚醋酸酯：预估无生物累积（log Pow=1.2）；2. 其他组分：无数据
土壤中的稳定性产品及组分均无数据
其他环境有害作用避免排放到周围环境

#13: 废弃处置

残余废弃物处置1. 参考当地环保法规；2. 由有资质的废物处理公司处置
污染包装物处置1. 清理空容器后，按环保法规交由有资质处理商处置；2. 避免残留污染环境
处置原则优先减量，其次回收，最后无害化处置；符合当地危险废物管理规定

#14: 运输信息

14.1 国际运输法规（UN 1993）

运输方式联合国编号联合国运输名称类别包装类别标签特殊说明
陆运（UNRTDG）UN 1993易燃液体，未另作规定的（丙二醇甲醚醋酸酯）3III3-
空运（IATA-DGR）UN 1993易燃液体，未另作规定的（丙二醇甲醚醋酸酯）3III易燃液体包装说明：货运飞机 366，客运飞机 355
海运（IMDG-Code）UN 1993易燃液体，未另作规定的（丙二醇甲醚醋酸酯）3III3EMS 表号 F-E、S-E；海洋污染物：否；不适用 MARPOL 73/78 附则 II 和 IBC 规则

14.2 国内运输法规（GB 6944/12268）

项目内容
联合国编号UN 1993
联合国运输名称易燃液体，未另作规定的（丙二醇甲醚醋酸酯）
类别3（易燃液体）
包装类别III
标签3（易燃液体标志）

14.3 运输注意事项

  1. 选择适配化学品性质的运输工具及储存条件；

  2. 运输中做好防晒、雨淋、防高温，极端天气减速或停运；

  3. 固定货物防止跌落、撒散，二次装卸避免倒置；

  4. 按规定线路行驶，避免在人口稠密区停留；

  5. 车辆配备消防器材及防泄漏应急设备。

#15: 法规信息

法规类别合规情况
国际公约《鹿特丹公约》（事先知情同意）：不适用
国内核心法规1. 《危险化学品目录》：已列入；2. 《中国现有化学物质名录》（IECSC）：已列入；3. 重点监管 / 严格限制有毒化学品名录：不适用；4. 《中华人民共和国职业病防治法》：适用
其他法规符合 GB 6944《危险货物分类和品名编号》、GB 12268《危险货物品名表》等标准

#16: 其他信息

最初编制日期2019 年 09 月 16 日
修订版本号1.3
最新修订日期2024 年 05 月 22 日
免责声明本 SDS 信息发布时准确，仅作安全指导，不构成担保和质量指标；仅适用于指定物质，不适用混合物或其他场景；使用者需自行判断适用性，编制方对非可控损失不承担责任
已启用
版本
1.3
初版日期
2021年1月12日
修改日期
2024年5月22日
过期日期
2029年5月22日
发布时间
2023年4月15日 22:23