光阻劑

基本资料

料号
70870
SDS 编号
QLE-238
中文名称
光阻劑
英文名称
AZ P4620 Photoresist
成分与浓度
成分 CAS No 化学式 浓度占比
單甲基醚丙二醇乙酸酯1-Methoxy-2-propanol acetate 108-65-6 NA >= 50 - < 70%
多甲酚聚合物 Cresol novolak resin NA NA >= 50 - < 70%
禁配物

應避免之狀況:強氧化劑。水解發生在有下列物質存在時:強酸,鹼,強鹼。

供应商

名称 联系电话 邮编 地址 传真号码 电子邮件
默克先進科技材料股份有限公司 02-2162-1111 台北市內湖區堤頂大道二段 89 號 6 樓 02-8751-6262

化学品

# 料号 使用部门 属性 危险化学品
尚无任何资料

#1: 化學品與廠商資料

化學品名稱     :       AZ P4620 Photoresist

其他名稱 :       光阻劑

 

建議用途及限制使用

 

產品使用說明 :       電子產業製程中使用

製造者、輸入者或供應者名稱、地址及電話

 

廠商名稱 :       默克先進科技材料股份有限公司

台北市內湖區堤頂大道二段 89 號 6 樓

+886-2-2161-1111

緊急聯絡電話/傳真電話:    :       電話:桃園廠 +886-3-483-6521 / 新竹廠 +886-3-597-0885 傳真:+886-3-597-2375

#2: 危害辨識資料

化學品危害分類

易燃液體     :          第 3 級

特定標的器官系統毒性物質- 單一暴露       :          第 3 級 (中樞神經系統)

 

標示內容

危害圖式     :         

          

         

 

警示語         :         

           警告  

危害警告訊息        :         
 

H226 易燃液體及蒸氣。

H336 可能造成困倦或暈眩。

 

危害防範措施   :      

預防措施:

P210 遠離熱源/火花/明火/熱表面。禁止抽菸。P233 保持容器密閉。

P240 容器和接收設備必須接地。

P241 使用防爆的電氣/通風/照明/設備。P242 只能使用不產生火花的工具。

P243 採取防止靜電放電的措施。

P261 避免吸入粉塵/燻煙/氣體/霧滴/蒸氣/噴霧。P271 只能在戶外或通風良好的地方使用。

P280 穿戴防護手套/眼睛防護具/臉部防護具。

事故應變:

如皮膚(或頭髮)沾染: 立即移 開或脫除所有沾染的衣物。用水沖 洗/淋洗皮膚。

P304 + P340 + P312 如吸入:將患者移到空氣新鮮處,保持舒適的姿勢呼吸。如有感覺不適之症狀出現,呼叫毒物諮詢中心或 洽詢醫療。

P370 + P378 火災時:使用水噴霧,耐醇泡沫,化學乾粉或二氧化碳滅火。

儲存:

P403 + P233 存放在通風良好的地方。保持容器密閉。P403 + P235 存放在通風良好的地方。保持陰涼。P405 加鎖存放。

廢棄處置:

P501 內容物及其容器須在合格廢棄物處理場處置。

其他危害
無數據資料

#3: 成分辨識資料

純物質/混合物      :          混合物

 

化學性質      :          無相關資料

 

          危害成分

危害成分之中英文名稱

化學文摘社登記號碼

(CAS No.)

濃度或濃度範圍

(成分百分比%)

單甲基醚丙二醇乙酸酯

1-Methoxy-2-propanol acetate

108-65-6

>= 50 - < 70%

非危害成分

 

非危害成分之中英文名稱

化學文摘社登記號碼

(CAS No.)

濃度或濃度範圍

(成分百分比%)

多甲酚聚合物

Cresol novolak resin

-

>= 30 - < 40%

#4: 急救措施

不同暴露途徑之急救方法

吸入 :       將患者移到新鮮空氣處。保持休息。

確認自身的安全!

吸入之後: 將傷者移到空氣新鮮處. 如果呼吸停止:立即施行口對口人工呼吸, 如有需要則使用氧氣面罩. 立即就醫.

緊急將患者送至最近之醫療院所並由醫生進行治療或檢查。

皮膚接觸 :       立即用肥皂和大量的水沖洗。

緊急脫除所有受污染的衣物,鞋子和襪子.必要時剪斷其衣物 如果刺激感仍存在,則儘速送醫並進行治療。

眼睛接觸 :       用大量水徹底沖洗至少 15 分鐘並請教醫生。

食入 :       傷患如果是神智清醒的,則可服用牛奶或水稀釋胃中之濃度 如不當心吞服了,立即採用醫藥措施。

 

 

                 切勿給失去知覺者餵食任何東西。

不要引發嘔吐。

最重要症狀及危害效應 :       我們沒有任何中毒症狀的敘述.

 

對急救人員之防護 :       無適用資料。

對醫師之提示 :       依症狀予以治療。

#5: 滅火措施

適用滅火劑     :       二氧化碳(CO2) 水噴霧

化學乾粉耐醇泡沫

滅火時可能遭遇之特殊危害  :       可燃.

                 釋放:

二氧化碳(CO2)

一氧化碳

 

特殊滅火程序 :       蒸氣比空氣重而且會傳遞至遠方,有引火源時會產生回火現象。

                 為避免因熱所造成壓力增加,在安全情況下可將產品撤離火災 現場,或是以水霧冷卻暴露於火場中的產品儲槽或儲存容器。

                 避免吸入蒸氣。

待在源頭上風/與源頭保持距離

 

消防人員之特殊防護設備      :       全身的防護服

                 在發生火災時,佩戴自給式呼吸器。

#6: 洩漏處理方法

個人應注意事項     :       對洩漏區域進行通風換氣並限制未經授權的相關人員進入

穿戴個人防護裝備。未著個人防護裝備的人必須遠離。

 

環境注意事項 :       不得使產品流入土壤,水源中。

                 防止大範圍的擴散(用遏制或用油障的辦法)。

 

清理方法 :       圍堵洩漏物質並用防爆電動吸塵器或濕刷收集,然後將其裝入

適當容器中再依當地法規進行廢棄物處理(見第 13 項)。

#7: 安全處置與儲存方法

處置

安全操作注意事項 :       遠離火苗、熱的表面和火源。避免吸入蒸氣。

避免與皮膚、眼睛和衣服接觸。不用時密閉容器。

採取防止靜電放電的措施。

操作後徹底清洗。

 

儲存

安全儲存注意事項 :       存放於原容器中。

蓋緊蓋子,置於乾燥和良好通風處。

技術措施/預防措施       :       遠離熱源和引火源。

                 儲存於適當之溫度.建議儲存溫度請詳閱產品標籤。

應避免之物質 :       遠離氧化劑,強鹼和強酸,以防止放熱反應。

#8: 暴露預防措施

工程控制

此產品應於密閉製程(使用局部排氣通風換氣設備或實驗室抽氣櫃)內進行操作使用。

成分的作業場所控制參數

此產品成分未有相關職業暴露標準(OEL)控制參數之相關資料。

 

 

生物指標

不含具有生物指標的物質。

 

個人防護設備

 

呼吸防護 :       於通風換氣量不足或長期暴露的狀況下需使用呼吸防護具 帶有機蒸氣過濾器的呼吸防護具

眼睛防護 :       佩戴帶有側擋板的安全眼鏡或護目鏡。

 

手部防護

 

其他防護 :       耐溶劑的手套

 

皮膚及身體防護      :       防護衣

耐有機溶劑防護衣

衛生措施 :       處置後徹底清洗雙手。

使用本產品時,不得飲食或抽菸。

更換受污染衣物. 使用此物質後須洗手.

避免與皮膚、眼睛和衣服接觸。

#9: 物理及化學性質

外觀 :       液體

 

顏色 :       清澈, 琥珀色, 紅色

氣味 :       類似酯的

 

嗅覺閾值 :       無數據資料

熔點/熔點範圍     :       熔點/熔點範圍:

< -10 ℃

(溶劑)

 

pH 值     :       不適用

 

沸點/沸點範圍     :       沸點/沸點範圍:

 

 

145 ℃

(溶劑)

 

閃火點(測試方法)     :       大約 42 ℃方法: 標準測試方法 DIN 51755 的第一部分, 閉杯

 

易燃性(固體、氣體) :       不適用

 

分解溫度 :       無數據資料

 

自燃溫度 :       354 ℃

(溶劑)

 

爆炸上限 :       無數據資料

 

爆炸下限 :       無數據資料

 

蒸氣壓    :       3.2 Torr (20 ℃)

 

蒸氣密度 :       無數據資料

 

密度 :       大約 1.07 g/cm3 (25 ℃)

 

溶解度

水溶性    :       部分溶解 - 相分離

 

辛醇/水分配係數 :       無數據資料

 

揮發速率 :       無數據資料

#10: 安定性及反應性

安定性     :       本產品於標準大氣狀態具化學安定性(室溫)

特殊狀況下可能之危害反應  :       與下列物質起反應: 強酸

氧化劑 鹼性物質

水解發生在有下列物質存在時:

 

 

強酸和強鹼

本產品在正確的儲存或處理狀況下安定

 

應避免之狀況 :       強氧化劑

水解發生在有下列物質存在時: 強酸

鹼 強鹼

                 遠離火苗、熱的表面和火源。

應避免之物質 :       強氧化劑

 

危害分解物     :       熱分解釋放:

二氧化碳(CO2) 一氧化碳

氮氧化物

硫氧化物

#11: 毒性資料

可能的暴露途徑的信息

 

暴露途徑   :     吸入, 眼睛接觸, 皮膚接觸

 

症狀:

我們沒有任何中毒症狀的敘述.

 

健康危害資訊

急毒性物質

 

急毒性(口服)   :     無相關資料

 

急毒性(吸入)   :     無相關資料

 

急性皮膚毒性  :     無相關資料

 

腐蝕/刺激皮膚    : 無相關資料

 

 

 

嚴重損傷/刺激眼睛   :     無相關資料

 

慢毒性或長期毒性

呼吸道致敏或皮膚致敏

 

致敏感性   :     無相關資料

 

致癌物質

 

致癌物質   :     無相關資料

 

生殖細胞致突變性物質     :     無相關資料

生殖毒性   :     無相關資料

特定標的器官系統毒性物質-單一暴露
:     無相關資料

 

特定標的器官系統毒性物質-重複暴露

 

:       無相關資料

 

吸入性危害物質      :       無相關資料

 

其他信息 :       無相關毒理學之測試報告

        :       根據工業衛生和安全使用作法來操作。

 

成分資訊

單甲基醚丙二醇乙酸酯

 

急毒性物質

 

急毒性(口服)   :       LD50: 6,190 mg/kg,大鼠, 雄性和雌性

方法: 經濟合作發展組織測試準則401, GLP實驗室 是

(ECHA)

 

急毒性(吸入)   :       LC50: 23.4 mg/l, 蒸氣, 大鼠

 

 

(OECD SIDS)

 

急性皮膚毒性 :       LD50: > 2,000 mg/kg, 大鼠, 雄性和雌性

方法: 經濟合作發展組織測試準則402, GLP實驗室 是(ECHA)

        :       本物質或混合物無急性皮膚毒性

 

皮膚刺激 :       兔子, 無皮膚刺激, 經濟合作發展組織測試準則404, 暴露時間: 24 h (ECHA)

眼睛刺激 :       兔子, 無眼睛刺激, 經濟合作發展組織測試準則405 (ECHA)

致敏感性 :       最大化試驗, 天竺鼠, 不引起皮膚過敏。, 經濟合作發展組織測試準則406

(ECHA)

 

體外基因毒性 :       細菌回復突變試驗(AMES), Salmonella typhimurium, 有或無代謝活化作用, 陰性, 經濟合作發展組織測試準則471, GLP實驗室 是

(ECHA)

 

生殖毒性 :       無相關資料

 

對胎兒發育的影響  :       種屬: 大鼠, 雌性暴露途徑: 吸入

對母體一般毒性: NOAEL: 2.7 mg/l 致畸變性: NOAEL: > 22.5 mg/l

方法: 經濟合作發展組織測試準則 414 GLP 實驗室: 是

備註: (ECHA)

 

特定標的器官系統毒性物質-單一暴露

 

:       可能造成困倦或暈眩。

(ECHA)

 

特定標的器官系統毒性物質-重複暴露

 

:       無相關資料

 

 

吸入性危害     :       無相關資料

 

其他信息 :       系統影響:

        :       嗜睡發紺

失去知覺麻醉

        :       破壞:

       :      腎

#12: 生態資料

生態毒性 :       無相關資料

持久性及降解性      :       無相關資料

生物蓄積 :       無相關資料

土壤中之流動性      :       無相關資料

其他不良效應

附加的生態信息      :       由於缺乏資料,未被分類。

        :       防止排放到周圍的環境中。

成分資訊

單甲基醚丙二醇乙酸酯

 

生態毒性 :       魚: Oncorhynchus mykiss(虹鱒), LC50: 134 mg/l , 靜態測試, 96 h,

 

經濟合作發展組織測試準則203 (ECHA)

可轉化的: Daphnia magna(水蚤), EC50: 408 mg/l , 48 h, 靜態測試, 經濟合作發展組織測試準則202, GLP實驗室 是

(ECHA)

海藻: Pseudokirchneriella subcapitata(綠藻), NOEC: > 1,000 mg/l , 96 h, 靜態測試, 分析監控 是, 經濟合作發展組織測試準則201 (ECHA)

海藻: Pseudokirchneriella subcapitata(綠藻), ErC50: > 1,000 mg/l , 96 h, 靜態測試, 分析監控 是, 經濟合作發展組織測試準則201 (ECHA)

 

對細菌的毒性 :       EC10: > 1,000 mg/l

暴露時間: 30 min 種屬: 活性污泥靜態測試

方法: 經濟合作發展組織測試準則209 備註:

(ECHA)

        :       EC20: > 1,000 mg/l

暴露時間: 30 min 種屬: 活性污泥靜態測試

方法: 經濟合作發展組織測試準則209 備註:

(ECHA)

 

長期魚類中毒 :       魚, Oryzias latipes(橙紅色將魚), NOEC: 47.5 mg/l , 14 d, 流動測試, 是, 經濟合作發展組織測試準則204

(ECHA)

 

對水蚤和其他水生無脊椎動物的毒性 (慢毒性或長期毒性) :       NOEC: >= 100 mg/l

暴露時間: 21 d

種屬: Daphnia magna(水蚤) 半靜電試驗

分析監控: 是

 

方法: 經濟合作發展組織測試準則211 備註:

(ECHA)

 

生物降解 :       83 %, 28 d, 快速生物降解。(ECHA)

生物蓄積 :       無相關資料

 

生物需氧量(BOD)   :       330 mg/g       , 5 d

(IUCLID)

化學需氧量(COD)  :       1,740 mg/g   (IUCLID)

土壤中之流動性      :       無相關資料

#13: 廢棄處置方法

廢棄處置方法

殘餘廢棄物     :       化學品必需依廢棄物清理法清理. 在環保署網站上www.epa.gov.tw 可找到化學廢棄物處理廠商及其聯絡人的資料. 產品必需按照國家法規的規定丟棄或導入設計好的回收系統. 在環保署 www.epa.gov.tw 網站上可以找到相關資料.

 

                 不能排入水中, 廢水中或泥土中.

受污染的容器和包裝     :       如欲丟棄使用後之容器,其清理方式可參考環保法規規定並委由 合格清除處理業代行清除處理

#14: 運送資料

國際法規

 

陸運(UNRTDG)       

聯合國編號     :       UN 1993

聯合國運輸名稱     :       易燃液體,未另作規定者

 

 

                 (單甲基醚丙二醇乙酸酯)

運輸危害分類 :       3

包裝類別 :       III

標示 :       3

海洋污染物(是/否) :       否

特殊運輸方法及注意事項      :       -

 

空運(IATA-DGR)             

UN/ID 編號  :       UN 1993

聯合國運輸名稱     :       Flammable liquid, n.o.s.

                 (單甲基醚丙二醇乙酸酯)

運輸危害分類 :       3

包裝類別 :       III

標示 :       Flammable Liquids

包裝說明(貨運飛機)      :       366

包裝說明(客運飛機)      :       355

 

海運(IMDG-Code)          

聯合國編號     :       UN 1993

聯合國運輸名稱     :       FLAMMABLE LIQUID, N.O.S.

(單甲基醚丙二醇乙酸酯)

運輸危害分類 :       3

包裝類別 :       III

標示 :       3

EmS 表號      :       F-E, S-E

海洋污染物(是/否) :       否

特殊運輸方法及注意事項      :       -

#15: 法規資料

適用法規

職業安全衛生設施規則

事業廢棄物貯存清除處理方法

及設施標準

危害性化學品標示及通識規則

道路交通安全規則

公共危險物品及可燃性高壓氣體製造儲存處理場所設置標準暨安全管理辦法

#16: 其他資料

 

參考文獻

此處的資料根據我們現有的知識而撰寫。提供了有關產品所需正確的安全注意事項,但並不  代表對於產品性質的保證,使用者請依應用需求,自行判斷其可用性,不構成默克對該產品  提供任何產權之擔保。

製表單位

公司名稱:默克先進科技材料股份有限公司

地址/電話:303 台灣 新竹縣湖口鄉新興路 458-6 號/ 聯絡電話:+886-3-597-0885

製表人

職稱: 資深專員

姓名(簽章): 李紹淇

製表日期

16.03.2020

已启用
版本
1.2
初版日期
2020年3月16日
修改日期
-
过期日期
2025年3月16日
发布时间
2023年4月15日 22:23