化學品名稱：

顯影液 Pro 7Glo

其 他 名 稱 ：

Developer Pro 7Glo

Pro建議用途及限制使用：

7Glo 為氫氧化四甲銨系列之顯影液，屬於低金屬含量的有機顯影系統。適用於曝光能量(g-, h-, i-line)之正型光阻(CR4000、12XT---)及護層(PBO---)的顯影，高縱橫比的製程具有良好的顯影效果，可廣泛應用於浸泡或噴灑系統。

製造者、輸入者或供應者名稱：尚昱應用材料股份有限公司

製造者、輸入者或供應者地址：新北市土城工業區自強街15巷4號3樓

製造者、輸入者或供應者電話：(02)2269-2566

緊急聯絡電話/傳真電話：

(02)2269-2566    (02)2269-2576

化學品危害分類：

急毒性物質第 3 級（皮膚）、金屬腐蝕物第 1 級、腐蝕/刺激皮膚物質第 1B 級、嚴

重損傷/刺激眼睛物質第 1 級、特定標的器官系統毒性物質-單一暴露第 1 級

標 示 內 容 ：

名稱：顯影液 Pro 7Glo危害成份：氫氧化四甲銨警示語：危險

危害警告訊息：

皮膚接觸有毒可能腐蝕金屬

造成嚴重皮膚灼傷和眼睛損傷

會對器官造成傷害(神經毒性-副交感神經作用) 危害防範措施：

使用本產品時，不得飲食、喝水或抽菸。著用防護手套和眼睛防護具/臉部防護具。

只能在原容器中存放或儲存於有抗腐蝕襯裏的容器中。吸收溢出物，防止材料損壞。

不要吸入霧滴。

處置後徹底清洗。脫掉的衣服須經洗滌/除汙後，方可重新使用。如暴露到或在意，呼救毒理中心或求醫。

若不慎吞食：漱口。但不要催吐。立即呼救毒物諮詢中心或送醫。

如皮膚沾染：立即移除或脫掉所有沾染的衣物，輕輕地用大量肥皂和水清洗；立即呼叫毒物諮詢中心或送醫。

若不慎吸入：將患者轉移到新鮮空氣處，保持呼吸舒適的體位休息。

如進入眼睛：用水小心清洗幾分鐘。帶隱形眼鏡並可方便地取出，取出隱形眼鏡。繼續沖洗。立即呼叫毒物諮詢中心或送醫。

標 示 內 容 ：

製造者、輸入者或供應者：

1. 名稱：尚昱應用材料股份有限公司
2. 地址：新北市土城工業區自強街 15 巷 4 號 3 樓

(3)電話：(02)2269-2566

＊更詳細的資料，請參考安全資料表

其他危害：

－

化學性質：－

危害成分之中英文名稱

化學文摘社登記號碼(CAS No.)

濃度或濃度範圍（成分百分比）

氫氧化四甲銨

Tetramethyl Ammonium Hydroxide

75-59-2

2.9 ~ 3.1

吡羅克酮乙醇胺鹽

Piroctone Olamine

68890-66-4

2.0 ~ 6.0

水 Water

7732-18-5

補足 100%

不同暴露途徑之急救方法：

吸    入：

移至新鮮空氣處，若呼吸困難，則由受過訓的人施以人工呼吸，採用球袋式呼吸面罩並有單向

閥或是其他醫療設計的呼吸輔助器，立即送醫。

皮膚接觸：

以大量肥皂和水清洗皮膚 15 分鐘以上，並隔離所有之被污染衣物和鞋子，立即送醫。

眼睛接觸：

將患者迅速帶到有洗眼或淋浴設備之處，用水緩沖眼睛 15 分鐘以上，立即送醫。

食    入：

切勿催吐；假如患者有意識，讓患者喝入大量的水或牛奶；若沒有意識，立即送醫。

最重要症狀及危害效應：與皮膚大面積接觸有潛在致命危險，會傷害神經系統，造成呼吸道灼傷、皮膚灼

傷、眼睛灼傷、黏膜灼傷導致破壞器官組織造成急性中毒呼吸衰竭。

對急救人員之防護：應著全身式化學防護衣，及空氣呼吸器，搬運傷患應穿著 C   級防護裝備在安全區急救。

對醫師之提示：若患者有昏迷、呼吸困難、痙攣的情況，切勿給患者催吐或飲水。患者吸入時，考慮給予氧氣。

吞食時考慮使用食道鏡檢查，避免洗胃。

適用滅火劑：化學乾粉、二氧化碳、泡沫、水霧。

滅火時可能遭遇之特殊危害：若發生火災，則屬於輕微火災危害。

特殊滅火程序：1.   對於大型火災，使用監控式滅火噴嘴，避免使用須由人員直接握持之水管。

2. 勿使外洩物流入下水道和水溝，滅火時與火源保持距離。
3. 遠離儲槽兩端。

消防人員之特殊防護裝備：穿著全身式化學防護衣，配戴自給式氧氣配備，必要時外加抗閃火鋁被覆外套。

個人應注意事項：

1.   限制人員進入，直到外溢區完全清乾淨為止。

2. 確定是由受過訓練之人員負責清理之工作。

3. 穿戴適當的個人防護裝備。

4. 應小心避免與眼睛及皮膚接觸。

5. 人員需待在上風處並遠離低窪地區。

環境注意事項：

1. 撤離疏散並使該區通風，去除可能引爆源。
2. 通知政府職業安全衛生與環保相關位。

清理方法：勿使外洩物直接流入水溝或下水道。

外洩物會使地面變得滑溜以惰性吸附性材質(如泥土，砂)處理洩漏。

勿使用木屑或其他有機物質吸附外洩物，然後將之收集至回收用塑膠桶，最後以大量水將殘留物沖入廢水道

少量洩漏：使用惰性吸附性材質(如泥土，砂)處理洩漏並移入容器中。

盡可能將外洩物品收，並移入適合且有標示的有蓋容器中。

以水清洗外洩區。

大量溢漏：連絡消防、緊急處理單位及供應商以尋求協助。

處置：

1. 須備隨時可用來滅火及處理洩漏的緊急應變裝置。
2. 遠離不相容物。
3. 操作前檢查容器是否溢漏。
4. 容器須標示，不用時緊閉，空桶可能仍有危害性殘餘物。
5. 處置時工作人員應配戴安全手套、安全護目鏡，避免眼睛、皮膚之接觸。
6. 於通風良好處處置。

儲存：

1. 產品應存放於原封容器內，保存在乾燥陰涼的地方，避免陽光照射。儲存溫度：0~40℃。
2. 腐蝕性物質不可存放在燃燒物體、氧化物或有毒物質附近。
3. 酸性物質應該要和鹼性物質分開儲存。
4. 儲區之建材，照明及通風設備應為抗腐蝕材質。
5. 不使用或用盡時皆應保持容器緊密。
6. 儲存區應管制進出。

控制參數：

八小時日時量平均容許濃度     短時間時量平均容許濃度          最高容許濃度

TWA                                          STEL                                       CEILING

N/A                                             N/A                                              N/A

生物指標：LD50(測試動物，吸收途徑)：25 mg/kg (鼠，皮膚)LC50(測試動物，吸收途徑)：N/A

個人防護設備：

‧呼吸防護：若超過安全標準，則使用NIOSH 許可之呼吸防護裝備，請教安全顧問，選取適當裝備。大量外洩及密閉通風不良的空間時，須配戴壓力充足之空氣呼吸器。

手部防護：化學防護耐酸鹼手套。

眼睛防護：防噴濺安全護目鏡/安全面罩。

皮膚及身體防護：C 級防護衣，緊急淋浴設備/洗眼設備。

工作後盡量脫掉污染之衣物，洗淨後才可再穿戴或丟棄，且須告知洗衣人員污染物危險性。

工作場所嚴禁抽煙或飲食。

處理此物後，須徹底洗手。

維持作業場所清潔。

外觀（物質狀態、顏色等）：無色~淡黃色液體

氣味：氨味

嗅覺閾值：－

熔點：－

pH 值：> 12

沸點/沸點範圍：100 ℃

易燃性（固體、氣體）：－

閃火點：      ℉                      ℃

測試方法： □ 開杯     □ 閉杯

分解溫度：N/A

自燃溫度：N/A

爆炸界限：N/A

蒸氣壓：N/A

蒸氣密度：N/A

密度：1~1.01

溶解度：與水完全互溶

辛醇／水分配係數（log Kow）：－

揮發速率：－

安定性：正常狀況下安定

特殊狀況下可能之危害反應：

1. 金屬：腐蝕
2. 酸：劇烈反應
3. 氧化劑：火災爆炸危害。

應避免之狀況：應避免熱、火源、與可燃物接觸

應避免之物質：強酸、氧化物及金屬。

危害分解物：氨氣、氮氧化物。

暴露途徑：皮膚、吸入、食入、眼睛接觸。

症狀：刺激感、灼傷、腐蝕皮膚及眼睛、呼吸困難、咳嗽、暈眩。

急毒性：皮膚：直接接觸可能引起嚴重疼痛、灼傷和可能染成棕色。腐蝕的區域變軟、膠狀和壞死，組織破壞可能很深；與皮膚接觸有潛在致命危害。

吸入：可能會引發鼻子、嘴巴和喉嚨的粘膜組織的刺痛；若吸入大量，可能發展成肺水腫，潛伏期為5~72 小時。症狀可能包含胸部緊，呼吸困難，泡沫性痰，發紺和暈眩。生理上的發現包含衰弱、脈搏加速、血壓過低。

食入：1. 可能會引起立即疼痛、口圍灼傷和黏膜腐蝕，首先變白，起泡沫後變棕色、水腫和潰爛。

2. 可能流大量口水及吞嚥和說話困難。
3. 即使沒有明顯部灼傷，食道和胃部也可能灼傷、嘔吐和腹瀉；嘔吐物可能多且黏糊帶有黏液，之後含有血和微量黏膜。
4. 會厭水腫可能導致呼吸痛苦以及可能窒息。
5. 可能發生血壓過低引起的休克、衰弱、脈搏加速，呼吸淺及皮膚濕冷；循環虛脫可能繼續發生，若沒有調整會導致腎臟衰竭。
6. 嚴重情況為胃穿孔，其次為食道穿孔，之後可能發生腹膜炎並伴隨發燒和腹部僵硬。
7. 最初幾個星期可能發生食道、胃和幽門狹窄，但也可能遲延數個月甚至數年。
8. 窒息、循環虛脫或倒吸此物質，可能於短時間內甚至於幾分鐘導致死亡；之後的死亡起因可能為穿孔的併發症、肺炎或食道、胃和幽門峽窄的影響。
9. 眼睛：1. 直接接觸可能引起疼痛和灼傷，可能很嚴重；傷害程度是濃度和接觸時間而定，可能水腫、上皮膚破壞、角膜渾濁化和虹 膜炎；當傷害嚴重性較小時，其症狀也會漸漸改善。2. 嚴重灼傷的情形，完整的傷害不會立即呈現，之後的併發症可能包括持續性的腫， 角膜血管形成和結疤，永久性的渾濁、葡萄腫、白內障。

LD50 (測試動物、吸收途徑)：25 mg/kg (鼠，皮膚)

LC50 (測試動物、吸收途徑)：NA

慢毒性或長期毒性：眼部：對眼部的傷害可能會持續好幾天。

皮膚：長期的暴露可能會引起皮膚的刺痛和傷害。吸入：重複的暴露可能會導致生理系統的影響。

生態毒性：－

持久性及降解性：－

生物蓄積性：直接排放至土壤和水中，預期會引起生物分解。

土壤中之流動性：－

其他不良效應：－

廢棄處置方法：請以安全設備許可方法處理，依循政府廢棄物處理規則。

聯合國編號： 1835

聯合國運輸名稱：氫氧化四甲銨溶液

運輸危害分類：第 8 類腐蝕性物質

包裝類別：II

海洋污染物（是／否）：否

特殊運送方法及注意事項：－

適用法規：

職業安全衛生設施規則

危害性化學品標示及通識規則道路交通安全規則

毒性化學物質管理法

特定化學物質危害預防標準

事業廢棄物貯存清除處理方法及設施標準勞工作業場所容許暴露標準

參考文獻

－

製表單位

名稱：尚昱應用材料股份有限公司

地址/電話：新北市土城工業區自強街 15 巷 4 號 3 樓 (02)2269-2566

製表人

職稱：副課長

姓名（簽章）：杜欣霖

製表日期

西元 2020   年 1      月 2    日