光刻胶 TKM7000

基本资料

料号
4Z414
SDS 编号
QLE-425
中文名称
光刻胶 TKM7000
英文名称
Photoresist TKM7000
成分与浓度
成分 CAS No 化学式 浓度占比
酚醛树脂 NA NA 40~50wt%
丙烯酸类树脂 NA NA NA
聚氢氧基乙烯苯型树脂 NA NA NA
3 - 甲氧基丁基乙酸酯 4435-53-4 NA 25~35wt%
丙二醇一甲醚乙酸酯 108-65-6 NA 15~25wt%
光酸产生剂 NA NA <5wt%
禁配物

氧化剂、还原剂

供应商

名称 联系电话 邮编 地址 传真号码 电子邮件
东京应化工业株式会社 +81-44-435-3000 211-0012 神奈川县川崎市中原区中丸子150 +81-44-435-3020 msds_uketuke@tok.co.jp

化学品

# 料号 使用部门 属性 危险化学品
尚无任何资料

#1: 化学品及企业标识

化学品中文名:光刻胶 TKM7000
化学品英文名:Photoresist TKM7000
企业名称:东京应化工业株式会社(TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.)(日本)
企业地址:神奈川县川崎市中原区中丸子 150 邮编:211-0012(150 Nakamaruko, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture 211-0012, Japan)
联系电话:+81-44-435-3000
传 真:+81-44-435-3020
电子邮件地址:msds_uketuke@tok.co.jp
企业名称:上海帝奥科电子科技有限公司(中国)
企业地址:上海市长宁区虹桥路 1438 号古北国际财富中心 703B 200336
联系电话:+86-21-5840-8800
传 真:+86-21-5840-8884
国家化学事故应急咨询专线电话的号码 :+86-532-83889090 (24h)
产品推荐用及限制用途 :半导体行业光刻用

#2: 危险性概述

危害类别 类别
易燃液体 类别 3
对水生环境的危害 急性 类别 2

标签要素
象形图 :
信号词: 警告
危险性说明: H226 易燃液体和蒸气
H401 对水生生物有毒
防范说明 :
预防措施:P210 远离热源 / 火花 / 明火 / 热表面-禁止吸烟。
P233 保持容器密闭。
P240 容器和接收设备接地 / 等势联接。
P241 使用防爆的电气 / 通风 / 照明设备
P242 只能使用不产生火花的工具。
P243 采取防止静电放电的措施。
P273 避免释放到环境中。
P280 戴防护手套 / 穿防护服 / 戴防护眼罩 / 戴防护面具。
事故响应: P303+P361+P353 如皮肤(或头发)沾染:立即脱掉所有沾染的衣服。用水清
洗皮肤/淋浴。
P370+P378 火灾时,使用 干燥砂、泡沫、二氧化碳、粉末灭火器 灭火。
安全储存: P403+P235 存放在通风良好的地方。保持低温。
废弃处置: P501 按照法规废弃内容物 / 容器。

物理和化学危险:无资料
健康危害:无资料
环境危害:无资料  
其他危害:无资料

#3: 成分 / 组成信息

组分浓度或浓度范围
(质量分数,%)
CAS No.
酚醛树脂
(Novolak resin)
40~50wt%
丙烯酸类树脂
(Acrylic type resin)
 
聚氢氧基乙烯苯型树脂
(Polyhydroxy styrene type resin)
 
3 - 甲氧基丁基乙酸酯
(3-Methoxybutyl acetate)
25~35wt%4435-53-4
丙二醇一甲醚乙酸酯
(Propylene glycol monomethylether acetate)
15~25wt%108-65-6
光酸产生剂
(Photoacid generator)
<5wt% 

#4: 急救措施

不同接触方式的急救方法
吸入:
迅速将患者撤离现场,挪到空气新鲜处。
如感觉不适,立即将患者送医院检查治疗。
皮肤接触:
用大量自来水和软性肥皂水清洗接触部位。
如刺激感持续,立即将患者送医院检查及治疗。
眼睛接触:
立即用自来水冲洗眼睛,将化学品彻底冲洗干净。
如刺激感持续,立即将患者送医院检查和治疗。
食入:
用水嗽洗患者的口腔。
如感觉不适,立即将患者送医院检查治疗。

最重要的症状和健康影响:
皮肤接触会引起皮肤刺激,长期皮肤接触会引起皲裂或其它皮肤损害 (如皮炎)。
眼睛接触会引起眼部刺激。
吸入会造成鼻腔及呼吸道刺激,可能引起头痛、恶心、呕吐、头昏或意识不清。还可能引起中枢神经系统的机能降低。

对保护施救者忠告:救援者需佩戴必要的防护设备。

对医生的特别提示:按症状治疗。根据患者的情况和事故的具体情况不同,治疗方法可能不同。在所有潜在的中毒情况下,现场应急救治是至关重要的。

#5: 消防措施

灭火剂:干砂、泡沫、二氧化碳、化学干粉
禁止使用的灭火剂:-
特别危险性:
蒸气比空气重并且会传到远处,遇引火源时会产生回火现象。
液体会浮于水上,而火势会蔓延开。
密闭容器加热可能剧烈爆炸。
避免摩擦及产生静电。
灭火注意事项及防护措施:
消防人员必须穿戴合适的防护服,在上风向灭火,避免吸入有毒烟气。
灭火时尽可能将容器从火场移至空旷处并对其进行冷却,也可通过雾状水来降低环境温度。
尽快疏散下风向可能受影响人群。火灾时,使用制造商 / 供应商或主管当局规定的适当的灭火剂。
对于小型火灾,使用化学干粉、二氧化碳灭火;发生大规模火灾时,使用泡沫灭火器是有效的灭火方法。
喷洒水能有效降温和保护消防人员,但可能扩大火灾危害。
隔离事故现场,禁止无关人员进入。
周边着火情况:安全情况下将容器搬离火场。在不可移动的状况下,使用适当的灭火剂对容器和包装进行灭火,并使用雾状水使其冷却。
着火情况:首先切断燃烧源,然后使用适当灭火剂从上风向灭火。对消防污水进行回收处置。

#6: 泄漏应急处理

人员防护措施、防护装备和应急处置程序:
处置人员在处置过程中应穿戴适当的防护服,避免皮肤和眼睛接触,避免吸入。
事故处置完成后,应遵循严格的全身清洗程序。
保持泄漏区域的充分通风,移走一切点火源(包括非防爆型的电气设备)。大量泄漏情况下,疏散所有不必要的和无防护的人员至上风向安全区域。远离低洼处。切勿接触或踩踏泄漏物。
环境保护措施:
切勿将本品冲入土壤、下水道、排水沟或其他任何水体。将所收集的泄漏物当作工业有害废弃物处置。
泄漏化学品的收容、清除方法及所使用的处置材料:
小量泄漏时,用布擦拭干净,并将布置于通风处,待溶剂挥发后焚烧处置。
大量泄漏时,用布阻止溢流,尽可能使用空容器回收泄漏物。
水中泄漏:一旦本品意外地进入河流、湖泊或海洋,立即通知有关部门,并依照任何适用的法规来采取必要的措施。
防止发生次生灾害的预防措施:
处理后应彻底清洁受污染的地面。确保移走泄漏区域现场任何的点火源,严禁烟火,配备适合的灭火器,并对现场进行充分地通风,避免排入排水沟、下水道、地下室等密闭场所,以免二次事故的发生。

#7: 操作处置与储存

操作处置:
搬运和使用时要小心操作,不得使容器受到损伤。
穿戴合适的防护服装。
必须在通风良好的场所使用。
使用完毕后将容器密闭。
不得使该溶液接触到氧化剂或还原剂。
切断所有易燃物。
电气设备必须是防爆型的。
接地。
当用管道输送此溶液时,应将使用的设备、管道和容器的金属部分接地,以防止产生静电。
要注意通风是否良好,该气体比空气重,可在低处积累。
不得将该溶液暴露于紫外线下,必须使用钨丝灯或黄色灯。
不再使用时不得将溶液保留在管道中。
必须在所有使用该溶液的场所安装自来水设施,以便一旦溶液接触或沾附在眼睛上时使用。
不得将已受污染的防护工具,如手套等带入休息场所。
在使用过该溶液后,要注意个人的健康状况。

储存:
将容器密闭,储存在凉爽、黑暗的场所。
远离所有火源。
不可加热。
在无必要时不可任其挥发。
储存在通风良好的场所。

#8: 接触控制和个体防护

组分名称GBZ2.1-2019GBZ2.1-2019ACGIHACGIH
 PC-TWAPC-STELTWASTEL
3 - 甲氧基丁基乙酸酯无资料无资料无资料无资料
丙二醇一甲醚乙酸酯无资料无资料无资料无资料
生物限值:
注:所记载的有关成分的信息只作为参考
  
组分名称WS/T 生物限值标准ACGIH(BEIs)
3 - 甲氧基丁基乙酸酯无资料无资料
丙二醇一甲醚乙酸酯无资料无资料
监测方法:无资料
工程控制方法:
设置全体通风换气装置,提供局部排气的通风系统。
工作场所附近需设置洗眼及淋浴设备。
采用不产生火花且接地的通风系统,并与其他排气系统分开。
个体防护设备:
呼吸系统防护 : 在有吸入蒸气的危险的情况下,
穿戴有机气体用防毒面具等合适的呼吸器官保护工具。
眼睛防护 : 戴防溅化学安全护目镜。
皮肤和身体防护 : 穿连身工作服、工作靴。
手防护 : 戴防渗手套。


 

#9: 理化特性

外观与性状 :黄色透明液体 
pH 值 :-临界温度 (℃) :-
熔点 (℃) :-临界压力 (MPa) :-
沸点 (℃) :-自燃温度 (℃) :-
闪点 (℃) :60℃分解温度 (℃) :-
爆炸上限[%(体积分数)] :-燃烧热 (kJ/mol) :-
爆炸下限[%(体积分数)] :-蒸发速率 :-
饱和蒸气压 (kPa) :-易燃性(固体、气体) :-
相对密度 (水以 1 计)  :-黏度 (mPa・s) :-
相对蒸气密度 (空气以 1 计):-气味阈值 (mg/m3) :-
n - 辛醇 / 水分配系数 :-n - 辛醇 / 水分配系数 :-
溶解性 :不溶于水溶解性 :不溶于水

#10: 稳定性和反应性

稳定性:避免紫外线、使用黄色灯光。(与紫外线发生反应)
危险反应:不完全燃烧时会产生一氧化碳。
应避免的条件:静电、热、着火源。
禁配物:氧化剂、还原剂
危险的分解产物:碳氧化物

#11: 毒理学信息

急性毒性
急性毒性(口服): -
3 - 甲氧基丁基乙酸酯: LD50 :4210mg/kg (大鼠)
丙二醇一甲醚乙酸酯 : LD50:10000-13700 mg/kg (老鼠)
LD50:>8532 mg/kg (老鼠)
急性毒性(皮肤接触):-
丙二醇一甲醚乙酸酯 : LD50:>5000 mg/kg (兔子)
急性毒性(吸入): -
丙二醇一甲醚乙酸酯 : LCLo:9.342-31.01 mg/L (老鼠)
LC50:>19.82 mg/L (老鼠)
皮肤刺激或腐蚀:-        
眼睛刺激或腐蚀:-
呼吸过敏:-
皮肤过敏:-
生殖细胞突变性:-
致癌性:-
生殖毒性:-
特异性靶器官系统毒性-一次性接触:-
特异性靶器官系统毒性-反复接触: -
吸入危害:-

#12: 生态学信息

生态毒性
对水生环境造成(急性危害、慢性危害): 类别 2
对水生环境造成(慢性危害): -

急性毒性(鱼):-
3 - 甲氧基丁基乙酸酯: TLm 7.1 ppm 96h (zebra fish)
丙二醇一甲醚乙酸酯 : LC50:>100 mg/L 96h (Oryzias latipes)
LC50:161 mg/L 96h (Pimephales promelas)
急性毒性(水蚤):-
丙二醇一甲醚乙酸酯 : EC50:370 mg/L 48h (Daphnia magna)
EC50:>500 mg/L 48H (Daphnia magna)
急性毒性(藻类):-
丙二醇一甲醚乙酸酯 : ErC50:>1000 mg/L 72h (Pseudokirchneriella subcapitata)
慢性毒性(淡水鱼):-
慢性毒性(水蚤):-
慢性毒性(淡水藻类):-
持久性和降解性: -
潜在的生物积累积性:-
土壤中的迁移性:-
 

 

#13: 废弃处置

废弃化学品:
必须依照当地和国家的法律法规进行处置。请仔细参阅 “第 7 部分 操作处置与储存”。严禁将该产品倾倒入土壤、下水道、排水沟、地下水或任何水体中。委托专业废弃物处置机构进行焚烧处置。
污染包装物:
残留有本品的所有容器或包装物也必须依照地方和国家的相关法律法规进行处置。空的容器会有产品残留,需彻底清空后按照相关说明处置。处置前彻底清空并清洗容器。处置作业人员的个体防护措施参见 "第 8 部分" 的内容。
废弃注意事项:
如果委托专业废弃物处置机构进行处理,则需签订合同,并使其明确废弃物内容。如产品或其生产、使用等过程中产生的废弃物经判定属于危险废物的,需按照国家相关废弃物处置规定进行合理处置。

#14: 运输信息

联合国危险货物编号 (UN 号) :1866
联合国运输名称 :树脂溶液,易燃的
联合国危险性分类 :等级 3
包装类别 :Pkg Group Ⅲ
海洋污染物 (是 / 否) :否
运输注意事项:
携带防护器具和灭火器。在运输装载之前,检查容器有无泄漏;确保平稳、安全装载,以防止容器滑动、坠落和损坏。运输过程中应采取合适的措施防止容器损坏。防止暴晒、雨淋、高温。远离热源和引火源,严禁烟火。不得与氧化剂、还原剂共混运输,集装箱里也不应有禁配物的残余物。运输中须遵守 ICAO、IMDG、RID、ADR、ADN 相关规定。本品属于危险货物,应按照《危险货物道路运输规则》(JT/T617-2018)规定,在进行汽车运输时携带 “道路运输危险货物安全卡”。

#15: 法规信息

法规信息:
《危险化学品安全管理条例》 (2011 年 国务院令第 591 号)
《化学品安全技术说明书内容和项目顺序》
《常用危险化学品的分类及标志》
《联合国关于危险货物运输的建议书・规章范本》
《危险化学品目录(2015 版)》 指南 :适用
《危险化学品目录(2015 版)》 : 3 - 甲氧基丁基乙酸酯
《危险化学品目录(2015 版)》剧毒 : 不适用。
《首批重点监管的危险化学品名录》 : 不适用。
《第二批重点监管的危险化学品名录》 : 不适用。
《麻醉药品品种目录(2013 年版)》和《精神药品品种目录(2013 年版)》 : 不适用。
《易制毒化学品的分类和品种目录》: 不适用。
《优先控制化学品名录》: 不适用。

 

#16: 其他信息

缩略语和首字母缩写:
PC-TWA:时间加权平均容许浓度(Permissible Concentration-Time Weighted Average)。指以时间为权数规定的 8h 工作日、40h 工作周的平均容许接触浓度。
STEL:短时间接触限值(Short Term Exposure Limit)。
TWA:时间加权平均值(Time-weighted average)。
OSHA:美国职业安全与健康管理局(Occupational Safety and Health Administration)。
ACGIH:美国政府工业卫生学家会议(American Conference of Governmental Industrial Hygienists)。
EPA:美国环境保护署(U.S Environmental Protection Agency)。
IARC:国际癌症研究机构(International Agency for Research on Cancer)。
NTP:美国国家毒理学项目(National Toxicology Program)。
EU:欧盟(European Union)。
CLP:欧盟关于物质和混合物分类、标签和包装的法规(EU Regulation on Classification, Labelling and Packaging of Substances and Mixtures)
NITE:日本制品评价技术基础机构(National Institute of Technology and Evaluation)
LD50:半数致死剂量(Lethal Dose 50%)。
LC50:半数致死浓度(Lethal Concentration 50%)。
LDL0:最低致死剂量(Lethal Dose Low)。
LCL0:最低致死浓度(Lethal Concentration Low)。
COD:化学需氧量(Chemical Oxygen Demand)。
BOD:生化需氧量(Biochemical Oxygen Demand)。

免责声明:本 SDS 的信息仅适用于所指定的产品,除非特别指明,对于本产品与其他物质的混合物等情况不适用。本 SDS 只为那些受过适当专业训练的该产品的使用人员提供产品使用安全方面的资料。本 SDS 的使用者,在特殊的使用条件下必须对该 SDS 的适用性做出独立判断。在特殊的使用场合下,由于使用本 SDS 所导致的伤害,本 SDS 的编写者将不负任何责任。
本文件记载了产品的安全信息。关于质量保证上的必要条件请参照技术资料,规格说明书等。
如需更多的信息,请与东京应化工业株式会社进行联系。

参考文献:
HSDB
RTECS
The Dictionary of Substance and Their Effects (The Royal Society of Chemistry)
Safety Data Sheet (of the raw material manufacturer)
NITE
CLP
《化学品安全技术说明书编写指南》(GB/T 17519-2013)
《全球化学品统一分类和标签制度》(GHS)
《基于 GHS 的化学品标签规范》(GB/T 22234-2008)
《化学品安全技术说明书 内容和项目顺序》(GB/T 16483-2008)
《化学品危险性评价通则》(GB/T22225-2008)
《化学品安全标签编写规定》(GB15258-2009)
《危险货物道路运输规则》(JT/T617-2018)

已启用
版本
1.0
初版日期
2016年12月21日
修改日期
2023年8月18日
过期日期
2028年8月18日
发布时间
2025年7月15日 14:46