AZ MIR-703 Photoresist (14cP) 光刻胶

基本资料

料号
7Z146
SDS 编号
QLE-281
中文名称
AZ MIR-703 Photoresist (14cP) 光刻胶
英文名称
-
成分与浓度
成分 CAS No 化学式 浓度占比
乳酸乙酯 97-64-3 NA >= 50 - < 70
乙酸正丁酯 123-86-4 NA >= 10 - < 20
萘醌衍生物 NA NA >= 2.5 - < 10
酚醛树脂多元醇 NA NA >= 2.5 - < 10
禁配物

NA

供应商

名称 联系电话 邮编 地址 传真号码 电子邮件
默克电子材料(苏州)有限公司 +8653283889090 215021 中国,苏州,苏州工业园区龙浦路 70 号 - SDS@merckgroup.com

化学品

# 料号 使用部门 属性 危险化学品
尚无任何资料

#1: 化学品及企业标识

产品名称

:

AZ MIR-703 Photoresist (14cP)

光刻胶

制造商或供应商信息

制造商或供应商名称

:

默克电子材料(苏州)有限公司

 

地址/电话

 

:

 

中国,苏州,苏州工业园区龙浦路 70 号 215021 邮箱地址:SDS@merckgroup.com

电话 :+86(0) 512 62836220

 

应急咨询电话

 

:

 

+86(0) 532-83889090

推荐用途和限制用途

推荐用途

:

电子产业制程中使用

限制用途

:

无数据资料

#2: 危险性概述

紧急情况概述

外观与性状

:

液体

颜色

:

澄清, 琥珀色, 红色

气味

:

特征的

必要的急救措施描述-一般的建议

:

患者以复原体位躺下,盖被保暖。

特别危险性

:

释放:二氧化碳(CO2)一氧化碳可燃.

危险反应

:

当产品受热温度高于闪点和(或)在喷洒或喷雾过程中可能在 空气中变成易燃性混合物。不发生危险的聚合反应。水解发生 在有下列物质存在时:强酸和强碱水解发生在有下列物质存在

时:强酸和强碱

易燃液体和蒸气。 吞咽或吸入可能有害。 造成严重眼损伤。 可能造成呼吸道刺激。

GHS 危险性类别

易燃液体

:

类别 3

急性毒性 (经口)

:

类别 5

急性毒性 (吸入)

:

类别 5

严重眼睛损伤/眼睛刺激性

:

类别 1

特异性靶器官系统毒性(一次接触)

:

类别 3 (呼吸道刺激)

象形图

:

 

 

 

信号词

:

 

 

 

 

 

危险

 

 

危险性说明

:

 

 

 

易燃液体和蒸气。

吞咽或吸入可能有害。造成严重眼损伤。

可能造成呼吸道刺激。

防范说明

:

 

预防措施:

远离热源/火花/明火/热表面。禁止吸烟。保持容器密闭。

容器和接收设备接地、连接。

使用防爆的电气/通风照明/设备。只能使用不产生火花的工具。

采取防止静电措施。

避免吸入粉尘、烟气、气体、烟雾、蒸气、喷雾。 仅在室外或通风良好处操作。

戴防护手套/戴防护眼罩/戴防护面具。事故响应:

如皮肤(或头发)沾染:立即脱掉所有沾污的衣物。用水清洗皮

肤/淋浴。

如误吸入:将受害人移至空气新鲜处,保持呼吸舒适的休息姿 势。如感觉不适,呼叫解毒中心或医生。

如进入眼睛,用水小心冲洗几分钟。如戴隐形眼镜并可方便地取 出,取出隐形眼镜,继续冲洗。立即呼叫解毒中心或医生。

如感觉不适,呼叫中毒控制中心或就医。

火灾时:使用水喷淋、抗醇泡沫、干粉或二氧化碳灭火。 储存:

存放在通风良好的地方。 保持容器密闭。

存放在通风良好处。保持低温。

上锁保管

废弃处置:将本品及其容器交由经批准的废物处理厂处置

物理和化学危险 易燃液体和蒸气。

健康危害

吞咽可能有害。 吸入可能有害。 造成严重眼损伤。 可能造成呼吸道刺激。环境危害

根据现有信息无需进行分类。

GHS 未包括的其他危害未见报道。

 

#3: 成分/组成信息

物质/混合物:混合物

危险组分

化学品名称

化学文摘登记号(CAS

No.)

浓度或浓度范围 (%)

乳酸乙酯

97-64-3

>= 50 - < 70

乙酸正丁酯

123-86-4

>= 10 - < 20

萘醌衍生物

-

>= 2.5 - < 10

酚醛树脂多元醇

-

>= 2.5 - < 10

#4: 急救措施

一般的建议

:

患者以复原体位躺下,盖被保暖。

眼睛接触

:

用大量水彻底冲洗至少 15 分钟并请教医生。

皮肤接触

:

立即脱掉受污染的衣服和鞋子。受污染的衣服和鞋子在重新使 用前应清洗干净并干燥后才能使用。

用肥皂和水洗净。

如果皮肤刺激持续,请就医。

吸入

:

新鲜空气.

食入

:

切勿给失去知觉者喂食任何东西。

禁止催吐。

最重要的症状和健康影响

:

我们没有任何中毒症状的叙述.

对保护施救者的忠告

:

无数据

对医生的特别提示

:

对症治疗

#5: 消防措施

灭火方法及灭火剂

:

 

二氧化碳(CO2) 水喷淋

化学干粉耐醇泡沫

不合适的灭火剂

:

大量水喷射

特别危险性

:

释放:

二氧化碳(CO2) 一氧化碳

 

 

可燃.

特殊灭火方法

:

避免吸入蒸气。

待在源头的上风/ 与源头保持距离。

蒸气比空气重而且会传至远方,遇有明火时会发生燃烧

 

 

相关区域需要断电,且移走着火源

在没有风险的情况下,可以移走堆放在此区域的物料 不要使用强实水流,因为它可能使火势蔓延扩散。

按照当地规定处理火灾后的残留物和污染的消防用水。

消防人员的特殊保护装备

:

自给式呼吸器

穿着密闭全身式消防服包括安全帽

如果没有配带或使用个人防护用品,灭火作业时需保持一定的 安距离

#6: 泄露应急处理

人员防护措施、防护装备和应急处置程序

:

穿戴个人防护用品,未穿者须远离

使人员远离并位于泄漏区域的上风方向。不要吸入蒸气、气溶胶。

避免与皮肤及眼睛接触

环境保护措施

:

不允许产品流入土壤或水源中。

 

 

如果产品污染了河流、湖泊或下水道,请告知有关当局。

泄漏化学品的收容、清除方法及所使用的处置材料

:

穿着合适的个人防护用品,使用不与此物质反应的材料来吸收 泄漏物,并在防泄漏区域提供适当的通风。

遵守可能适用的材料限制(见 7 和 10 部分)。

 

 

盖住下水道。收集、围堵、抽出泄漏物。仅使用防爆设备。

收集并放入已贴上正确标签的容器中。

用惰性材料吸收(如砂子、硅胶、酸性粘结剂、通用粘结剂、

锯末)。

防止发生次生灾害的预防措施

:

无数据

#7: 操作处置与储存

操作处置

安全处置注意事项

:

远离火源(禁止吸烟)。

容器和接收设备接地、连接。

在通风良好的区域工作(必要时,设置局部排风设施)

空容器可能含有具有危险性的残留物-请不要加压,切割,焊接,研磨并不要将此容器爆露于热,火焰,火花或其它着火源 中

采取防止静电措施。操作后彻底清洗。

防火防爆的建议

:

蒸气可能与空气形成爆炸性混合物。 蒸气重于空气,因此能延地面扩散。

防止接触禁配物

:

氧化剂碱

卫生措施

:

作业后彻底清洗双手。

作业场所不得进食、饮水或吸烟。

 

 

立即去除/脱掉所有沾染的衣服。远离食品和饮料。

确保在工作场所附近有洗眼和淋浴设施。

按照良好的工业卫生和安全规范进行操作。

储存

安全储存条件

:

储存于原装容器中。

保持密闭,置于干燥和通风良好处。

#8: 接触控制和个体防护

危害组成及职业接触限值

组分

化学文摘登

记号(CAS No.)

控制参数

依据

乙酸正丁酯

123-86-4

PC-TWA: 200 mg/m3

GBZ 2.1-2007

 

 

PC-STEL: 300 mg/m3

 

组分

化学文摘登记号(CAS

No.)

控制参数

依据

乙酸正丁酯

123-86-4

TWA: 50 ppm

ACGIH

 

 

STEL: 150 ppm

 

 

工程控制

:

7.1 部分

 

 

提供局部排气或工艺的通风,以满足暴露限值。如果作业现场 存在爆炸的粉尘,蒸气或烟雾浓度,通风设备应防爆。

个体防护装备

呼吸系统防护

:

在排气通风不足,或长时间接触的情况下,使用呼吸防护设

备。

眼睛防护

:

如有直接接触或暴露的可能,请佩戴防护眼镜。

手防护

其他防护

:

如需直接接触或者暴露,请佩戴防化手套。

其他防护

:

耐溶剂的手套

皮肤和身体防护

:

如需直接接触或暴露,请穿着防化服。防护服

耐有机溶剂防护服

防护措施

:

避免吸入蒸气。

避免接触皮肤和眼睛。

按照良好的工业卫生和安全规范进行操作。

 

#9: 理化特性

外观与性状

:

液体

颜色

:

澄清, 琥珀色, 红色

气味

:

特征的

气味阈值

:

无数据

pH

:

无数据

熔点/凝固点

:

-78 °C

(溶剂)

沸点

:

126.1 °C

(溶剂)

闪点

:

47.5 °C

方法: Tag 闭杯闪点测试法

蒸发速率

:

无数据

易燃性(固体,气体)

:

无数据

易燃(液体)

:

无数据

爆炸上限

:

7.6 %(V)

(溶剂)

爆炸下限

:

1.2 %(V)

(溶剂)

蒸气压

:

无数据

蒸气密度

:

无数据

密度/相对密度

:

1.055

方法: (25/25°C)

密度

:

无数据

水溶性

:

无数据

正辛醇/水分配系数

:

无数据

自燃温度

:

425 °C

(溶剂)

 

分解温度

 

:

 

无数据

动力黏度

:

无数据

运动黏度

:

无数据

爆炸特性

:

非爆炸物。

氧化性

:

#10: 稳定性和反应性

稳定性

:

本产品在标准环境条件下 (室温)化学性质稳定。

本产品在标准环境条件下 (室温)化学性质稳定。

危险反应

:

可能会形成爆炸性过氧化物。避免长时间储存或接触空气, 光,或储存和使用高于室温。

当产品受热温度高于闪点和(或)在喷洒或喷雾过程中可能在 空气中变成易燃性混合物。

不发生危险的聚合反应。

水解发生在有下列物质存在时: 强酸和强碱

水解发生在有下列物质存在时: 强酸和强碱

应避免的条件

:

强氧化剂

水解发生在有下列物质存在时: 强酸

碱 强碱

 

 

金属 金属盐

远离明火、热的表面和点火源。

禁配物

:

氧化剂

危险的分解产物

:

无数据

 

#11: 毒理学信息

健康危害信息

急性毒性

急性经口毒性

:

急性毒性估计值: 3,820 mg/kg

方法: 计算方法

急性吸入毒性

:

急性毒性估计值: 8.02 mg/l, 4 h, 粉尘/烟雾

方法: 计算方法

急性经皮毒性

:

无数据

皮肤腐蚀/刺激

:

无数据

严重眼睛损伤/眼刺激

:

无数据

呼吸或皮肤过敏

致敏性

:

无数据

致癌性

NTP

此产品中所有含量大于等于 0.1%的组分中,没有被 NTP 鉴别为已知或预

计的致癌物。

IARC

此产品中所有含量大于等于 0.1%的组分中,没有被 IARC 鉴别为已知或

可能的致癌物。

OSHA

此产品中所有含量大于等于 0.1%的组分中,没有被 OSHA 鉴别为已知或

潜在的致癌物。

生殖细胞致突变性

:

无数据

生殖毒性

:

无数据

特异性靶器官系统毒性(一次接触)

:

无数据

特异性靶器官系统毒性(反复接触)

:

无数据

吸入危害

:

无数据

其他信息

:

由于缺乏资料,未被分类。

 

:

按照良好的工业卫生和安全规范进行操作。

成分信息

乳酸乙酯

急性毒性

 

 

急性经口毒性

 

:

 

LD50: > 2,000 mg/kg,大鼠(HSDB)

急性吸入毒性

:

LC50: > 5.4 mg/l, 4 h, 粉尘/烟雾, 大鼠

(HSDB)

急性经皮毒性

:

LD50: > 5,000 mg/kg, 家兔

(HSDB)

皮肤刺激

:

, 无刺激性, 24小时斑贴试验。

(HSDB)

眼睛刺激

:

雏鸡, 对眼睛有不可逆转的影响(ECHA)

致敏性

:

人的感受, 阴性(HSDB)

体外基因毒性

:

无数据

生殖毒性

:

无数据

特异性靶器官系统毒性(一次接触)

:

吸入可能造成呼吸道刺激。

特异性靶器官系统毒性(反复接触)

:

无数据

吸入危害

:

无数据

    乙酸正丁酯

急性毒性

急性经口毒性

:

LD50: 10,760 mg/kg,大鼠, 雌性方法: OECD测试导则423

(外部 MSDS)

 

:

呕吐后可能会倒吸入肺部的危险., 吸入可能引起肺水肿和肺炎。

急性吸入毒性

:

LC50: 0.74 mg/l, 4 h, 气溶胶, 大鼠, 雄性和雌性方法: OECD测试导则403, 良好的实验室操作 是

(ECHA)

急性经皮毒性

:

LD50: > 14,100 mg/kg, 家兔, 雄性和雌性方法: OECD测试导则402

(外部 MSDS)

 

皮肤刺激

 

:

 

家兔, 无刺激性, OECD测试导则404 (ECHA)

 

:

反复暴露可能引起皮肤干燥和开裂。(ECHA)

眼睛刺激

:

家兔, 无眼睛刺激, OECD测试导则405 (ECHA)

致敏性

:

最大反应试验, 小鼠, 未引起试验动物过敏。(ECHA)

体外基因毒性

:

Ames试验, 大肠杆菌/沙门式菌 typhimurium, 有或没有代谢活化作用, 阴性, OECD测试导则471

(外部 MSDS)

 

:

突变性 (哺乳类细胞测试): 染色体变异阴性., 无代谢活化, 阴性, OECD 测试导则473

(ECHA)

致畸性

:

种属: 大鼠

染毒途径: 吸入

暴露时间: 6 weeks

方法: OECD测试导则414

特异性靶器官系统毒性(一次接触)

:

靶器官: 中枢神经系统

可能造成昏昏欲睡或眩晕。

特异性靶器官系统毒性(反复接触)

:

无数据

吸入危害

:

无数据

萘醌衍生物

急性毒性

急性经口毒性

:

无数据

急性吸入毒性

:

无数据

急性经皮毒性

:

无数据

皮肤刺激

:

无数据

眼睛刺激

:

无数据

致敏性

:

无数据

体外基因毒性

:

无数据

生殖毒性

:

无数据

特异性靶器官系统毒性(一次接触)

:

无数据

特异性靶器官系统毒性(反复接触)

:

无数据

吸入危害

:

无数据

酚醛树脂多元醇

急性毒性

急性经口毒性

:

LD50: > 5,000 mg/kg,大鼠, 雄性和雌性方法: OECD测试导则401

(ECHA)

急性吸入毒性

:

无数据

皮肤刺激

:

家兔, 无皮肤刺激, OECD测试导则404

(Lit.)

眼睛刺激

:

家兔, 无眼睛刺激, OECD测试导则405 (Lit.)

致敏性

:

Buehler 豚鼠试验, 豚鼠, 未引起试验动物过敏。(结果)

体外基因毒性

:

Ames试验, 有或没有代谢活化作用, 阴性

(结果)

生殖毒性

:

无数据

特异性靶器官系统毒性(一次接触)

:

无数据

特异性靶器官系统毒性(反复接触)

:

无数据

吸入危害

:

无数据

 

#12: 生态学信息

生态毒性

:

无数据

持久性和降解性

:

无数据

生物蓄积

:

无数据

土壤中的稳定性

:

无数据

其他环境有害作用

其它生态信息

:

由于缺乏资料,未被分类。

 

:

避免排放到周围环境中。

成分信息

乳酸Z酯

生态毒性

:

: Danio rerio (斑马鱼), LC50: 320 mg/l , 96 h

无脊椎动物: Daphnia magna (水溞), EC50: 560 mg/l , 48 h

藻类: Pseudokirchneriella subcapitata (绿藻), ErC50: 3,500 mg/l ,

72 h

生物降解性

:

快速生物降解的。(外部 MSDS)

生物蓄积

:

无数据

土壤中的稳定性

:

无数据

乙酸正丁酯

生态毒性

:

: Pimephales promelas (肥头鲦鱼), LC50: 18 mg/l , 流水式试验, 96 h, 分析监控: , OECD测试导则203

(外部 MSDS)

无脊椎动物: Daphnia magna (水溞), EC50: 44 mg/l , 48 h, 静态试验(ECHA)

藻类: Desmodesmus subspicatus (绿藻), ErC50: 674.7 mg/l , 72 h, 静态试验

(ECHA)

 

对细菌的毒性

 

:

 

EC50: 959 mg/l

暴露时间: 18 h

种属: Pseudomonas putida (恶臭假单胞菌) 备注:

(IUCLID)

生物降解性

:

83 %, 28 d, 快速生物降解的。(ECHA)

生物蓄积

:

无数据

土壤中的稳定性

:

无数据

萘醌衍生物

生态毒性

:

: 无数据

无脊椎动物: Daphnia magna (水溞), EC50: > 17.6 mg/l , 48 h, OECD测试导则202

(超过测试物的溶解度上限)

藻类: 无数据

生物降解性

:

10 %, 28 d, 不易快速生物降解的。(ECHA)

生物蓄积

:

无数据

土壤中的稳定性

:

无数据

酚醛树脂多元醇

生态毒性

:

: Oryzias latipes (日本青鳉), LC50: > 1,000 mg/l , 48 h (外部 MSDS)

无脊椎动物: Daphnia magna (水溞), 96 h, OECD测试导则202 饱和溶液中没有观察到毒性效应.

藻类: 无数据

生物降解性

:

< 10 %, 28 d, 不易快速生物降解的。(外部 MSDS)

生物蓄积

:

无数据

土壤中的稳定性

:

无数据

#13: 废弃处置

13.

废弃处置

 

处置方法

 

 

残余废弃物

:

此产品废弃物的处理须参考相关环保法规并由经根据法规有废 弃物处理资质的公司处理。

污染包装物

:

废弃空容器,其清理方式可参照环保法规规定交由有资质的废 物处理商处置

处置措施

按当地法规处理

#14: 运输信息

国际法规

陆运(UNRTDG)

 

 

联合国编号

:

UN 1993

联合国运输名称

:

FLAMMABLE LIQUID, N.O.S.

 

 

(乙酸正丁酯, 乳酸乙酯)

类别

:

3

包装类别

:

III

标签

:

3

空运(IATA-DGR)

 

 

UN/ID 编号

:

UN 1993

联合国运输名称

:

Flammable liquid, n.o.s.

 

 

(乙酸正丁酯, 乳酸乙酯)

类别

:

3

包装类别

:

III

标签

:

Class 3 - Flammable liquids

包装说明(货运飞机)

:

366

包装说明(客运飞机)

:

355

海运(IMDG-Code)

 

 

联合国编号

:

UN 1993

联合国运输名称

:

FLAMMABLE LIQUID, N.O.S.

(乙酸正丁酯, 乳酸乙酯)

类别

:

3

包装类别

:

III

标签

:

3

EmS 表号

:

F-E, S-E

海洋污染物(是/否)

:

按《MARPOL73/78 公约》附则 II 和 IBC 规则不适用于供应的产品。

国内法规

GB 6944/12268

 

 

联合国编号

:

UN 1993

联合国运输名称

:

易燃液体,未另作规定的

 

 

(乙酸正丁酯, 乳酸乙酯)

类别

:

3

包装类别

:

III

标签

:

3

特殊防范措施不适用

运输注意事项:

请根据化学品性质选择合适的运输工具及相应的运输储存条件。

运输时应做好防晒、雨淋、防高温。极端天气下应减速运输或停运。 运输车辆内应有相应的固定措施防止跌落、撒散造成货物损伤。

对于多式联运在二次装卸时应避免货物倒置,安全操作避免货损。 车辆运输应按照规定线路行驶,勿在人口稠密地区停留。

车辆应配备相应的消防器材并有防泄漏应急处理设备。

#15: 法规信息

适用法规

《蒙特利尔议定书》(消耗臭

氧层物质)

:

不适用

《鹿特丹公约》(事先知情同意)

:

不适用

《斯德哥尔摩公约》(持久性有机污染物)

:

不适用

重点监管的危险化学品名录

:

不适用

中国严格限制进出口的有毒化

学品目录

:

不适用

危险化学品目录

:

已列入

中国现有化学物质名录

(IECSC)

:

未列入. 存在于或符合现有名录

其他信息

:

职业病防治法

#16: 其他信息

最初编制日期

:

06.02.2018

修订本编号

:

1.5

修订日期

:

18.09.2023

免责声明

此安全技术说明书提供的信息在其发布之日是准确无误的,所给出的信息仅作为安全搬运,储存,运输,处理等的指导,而不能被作为担保和质量指标,此信息仅用于指定的物质而不能用于其它相关的物质,除非特别指明。

已启用
版本
1.5
初版日期
2018年2月6日
修改日期
2023年9月18日
过期日期
2028年9月18日
发布时间
2023年10月10日 14:57